第512章 伟大的人无惧平台：你必须得帮我们（第5/6页）

林本坚没吭声。

他如果现在投入过来做浸润式光刻机，就意味着他要结束在美国所有的事业。

他的孩子已经长大了，不可能再跟着他跑。

这就意味着，他们夫妻会跟孩子分别。

况且，他在上海人生地不熟，对于红色的华夏，他也不了解。

一个完全陌生的环境，让他舍弃既往所有的生活，他实在难以下决心。

王潇怕气氛僵了，本着没鱼虾也行，人来都来了，能物尽其用，就绝对不能让人白来一趟的原则，主动提议：“林博，你要不要参观一下我们光刻机厂？刚好也给我们提点指导意见嘛，我们做这个确实是新人。”

张汝京也赶紧附和：“对对，看一看，你给点拨一下，也让大家少走弯路。”

林博士立刻谦虚道：“不敢当，能够参观你们工厂是我的荣幸。”

于是一群人又去看0.35微米制程的光刻机，顺带参观车间。

突然间，林博士好奇道：“那是什么？”

郑教授解释：“这是我们在做的双工作台。当时我们想的是，如果做浸润式光刻机，水膜虽能提升曝光分辨率，却会干扰芯片测量的准确性，所以是不是应该搞两个台子更合适？刚好我们去船厂看到了双工作台，就想着我们也搞个双工作台。”

他笑了起来，“后来发现，这个好像哪怕搞不出浸润式光刻机，双工作台也能用。它用在干式光刻机上，也可以大大提高效率。我们搞光刻机技术，肯定追不上尼康佳能ASML这样的大企业，首先专利就少。那我们现在能下功夫的，而且下了功夫就能看到效果的，也就是工艺了。”

“这样同样的技术水平，都不是最高端的技术水平，我们的效率高，人家用我们的机子生产芯片，平均成本就低，我们自然也就有竞争优势，能够跟其他厂家争一争了。”

这话说的多卑微啊。

一个已经搞出了世界上第1台浸润式光刻机实验机的厂家，想的还是在低端领域竞争。

听到林博士都说不清楚自己内心究竟是个什么感受。

他出了厂房大门，才轻声细语道：“可是我脱不开身啊，我在美国也有自己的工作要做。”

王潇毫不犹豫：“要不这样吧，林博，您能不能给我们当顾问？我们聘请您当首席顾问。我们需要你，请你一定要帮我们。”

算了，不能直接雇佣人家，也不能买人家的公司，更不能指望对方公司过来投资，大家合资一起搞——美国对这方面的限制很严重。

那就只能退而求其次，再请一位首席顾问了。

不管三七二十一，反正现在立刻动起来是真的。

否则等到佳能和尼康这样的大厂反应过来，开始投入做浸润式光刻机。以人家的技术底蕴，分分钟就能反超。

作者有话说：

注：真实的情况下，张汝京和林本坚的交谈应该会把光刻称之为微影，就好像我们一般会说芯片代工，但是在台湾会称之为晶圆代工，小说里面我没有这么说，是为了方便大家理解，否则代表同一事物的名词太多的话，可能容易让人理解混乱。

此外，关于林本坚博士对浸润式光刻机的贡献，ASML的Jan Mulkens在2001年12月的157纳米光刻技术大会上，和行业人士共同讨论过镜头下加纯净水提升分辨率的思路，这一思路源于显微镜领域的旧有光学现象，且IBM在80年代就描述过该现象在光刻中的应用。Jan会后就组建团队做基础测试，但此时只是停留在早期概念验证。而林本坚是在2002年国际光电学会研讨会上，首次系统且针对性地提出将193纳米机台搭配高纯度水作为介质的实用化方案，还算出等效波长可达134纳米，这个方案直接直指当时157纳米干式光刻的成本与技术瓶颈，具备明确的商业化落地价值，和Jan此前接触的宽泛概念有着本质区别。

林本坚提出方案后，因当时尼康、佳能等大厂已在157纳米技术上投入数十亿美元而遭冷遇。他花了一年时间游说设备厂，期间台积电的张忠谋、蒋尚义给予其全力支持。

按照林本坚本人的自述：轰动归轰动，要说服光刻机台的厂商研发并量产浸润式机台却困难重重。问题出在全世界的研发方向都朝向157纳米，不但有很多厂商和研发单位投注到这波长，而且全球对157纳米的投资远超过10亿美元；单单一家光刻机台的厂商号称已投资超过7亿多美元。他们觉得我在搅局，并想说服我的老板阻止我。幸亏蒋尚义老板很有见识，也相信我的能力，并没有采取行动。

我和组内的同仁必须写好几篇论文，从理论的观点证明浸润式微影的可行性及优势，并驳斥一些错误的负面看法。我们也及早申请了应该申请的专利，并继续在国际技术讨论会发表论文。最重要的是必须说服厂商提供机台。